EPMA-1720 島津電子探針

電子探針（EPMA）是用極細(xì)的電子束對(duì)樣品表面進(jìn)行照射產(chǎn)生特征X 射線，對(duì)特征X 射線進(jìn)行分光和強(qiáng)度測(cè)定，得到微小區(qū)域的元素組成及樣品表面元素濃度分布的分析裝置。由于島津電子探針進(jìn)行的是無(wú)損高精度分析，并且能夠提供替他儀器不能提供的信息，因此在高校及實(shí)驗(yàn)室中大量使用，并從初的金屬?半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，逐步擴(kuò)展到微粒?礦物?催化劑?生物組織的分析。鑒于電子探針?lè)治瞿芰Φ膬?yōu)越性，市場(chǎng)對(duì)高端機(jī)型的需求也逐年增長(zhǎng)。

特點(diǎn)：

??空間分辨率

電子探針可達(dá)到的高級(jí)別的二次電子圖像分辨率3nm（加速電壓30kV），分析條件下1的二次電子分辨率。

（加速電壓10kV時(shí)20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）

? 大束流超高靈敏度分析

實(shí)現(xiàn)3.0μA（加速電壓30kV）的大束流。可超高靈敏度進(jìn)行超微量元素的面分析。并且全束流范圍無(wú)需更換物鏡光闌。

??高性能X射線譜儀

秉承島津電子探針頗具優(yōu)勢(shì)的52.5°X射線取出角。采用4英寸羅蘭圓半徑的分光晶體兼顧高靈敏度與高分辨率。可同時(shí)搭載5通道高性能X射線譜儀。分析性能更勝一籌。

? 全部分析操作簡(jiǎn)單易懂

全部操作僅靠一個(gè)鼠標(biāo)就可進(jìn)行的先進(jìn)可操作性。追求易懂的人性化用戶(hù)界面。搭載導(dǎo)航模式，自動(dòng)指引直至生成報(bào)告。